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EB-999 使用方法与添加量详解(六甲基二硅氮烷 CAS 999-97-3):整理2种常用工艺的操作要点与参考用量,附技术参数与常见问题,供工程师现场快速查阅,依帕克斯技术团队提供选型支持。
本页系统整理EB-999(六甲基二硅氮烷 CAS 999-97-3)的使用方法、推荐添加量与现场操作要点,供研发与生产工程师快速查阅。EB-999 由两个三甲基硅基(CH₃)₃Si—通过 NH 桥接而成,结构对称、位阻适中。用量区间为经验参考,请以小试与实测性能确定最终添加量;若需现场选型支持,广州依帕克斯技术团队可配合样品试用与工艺验证。
| 化学名称 | 六甲基二硅氮烷(六甲基二硅烷胺,Hexamethyldisilazane,简称 HMDS) |
|---|---|
| CAS No. | 999-97-3 |
| EINECS号 | 213-668-5 |
| 分子式 / 分子量 | C₆H₁₉NSi₂ / 161.39 |
| 外观 | 常温下无色透明液体 |
晶圆底涂(经典工艺):晶圆经脱水烘焙后,旋涂、浸渍或气相法涂布 EB-999,再于 150~200 ℃ 热板烘 60~90 秒;液相增粘也可按 HMDS:溶剂 10:1~20:1 稀释后旋涂。 建议先小试确认附着力/性能再放大生产。
液相硅烷化:按底物用量的 1.0~2.5 当量加入,在无水条件与氮气保护下反应,过量部分经减压回收;具体用量与温度按反应体系确定。 建议先小试确认附着力/性能再放大生产。
密封贮存于阴凉、通风、干燥处,防潮避光,远离水汽与酸碱;硅氮烷对水汽敏感,开封后建议充氮密封并尽快用完。标准包装:20KG 纸箱、25KG 塑料桶、200KG 铁桶或 IBC(按产品实际可选),可按客户要求提供其他规格。未开封常规有效期 12 个月。开桶后请密封保存并尽快用完,配制好的稀释液建议现用现配。
①晶圆底涂(经典工艺):晶圆经脱水烘焙后,旋涂、浸渍或气相法涂布 EB-999,再于 150~200 ℃ 热板烘 60~90 秒;液相增…;②液相硅烷化:按底物用量的 1.0~2.5 当量加入,在无水条件与氮气保护下反应,过量部分经减压回收;具体用量与温度按反应体系…。最终添加量应以小试的附着力与机械性能实测为准,并非越多越好;过量添加反而可能降低界面强度或影响体系稳定性。
晶圆底涂(经典工艺)、液相硅烷化。其中晶圆底涂(经典工艺)与液相硅烷化分别对应预处理类与直接掺混类场景,按产线条件选择,必要时组合使用。
配制时建议先将EB-999按推荐比例预稀释再与主料混合,搅拌均匀后使用;开桶后保持密封,稀释液不宜长时间存放,建议现配现用。
晶圆光刻前以旋涂、浸渍或气相法涂布 HMDS 并热烘,将表面羟基转化为三甲基硅基,提升光刻胶附着力,防止浮胶与驻波。操作上按下方使用方法执行,从推荐用量区间下限开始小试,逐步调整到最优比例。
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